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本发明提出一种集成微纳粒子和光波导的光子学器件结构。该光子学器件结构包括微纳粒子(101)，光波导(201，202)，以及基底层(301)。其特征在于微纳粒子(101)位于光波导(201，202)的轴线延长线方向；微纳粒子(101)和光波导(201)属于横向光散射层(200)；横向光散射层制备在基底层(301)上。所述微纳粒子和光波导的材料包括但不限于，硅、锗、或者氮化硅等电介质材料。该光子学器件结构实现入射光束(401)耦合进光波导(201)和/或光波导(202)，或者入射光束(401)实现等
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114296185 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202210135028.0
(22)申请日 2022.02.14
(71)申请人 西北工业大学
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