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微机电系统.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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微机电系统.pdf

    本发明提供一种微机电系统，其包括：外壳，限定有空腔和与所述空腔连通的开口；振膜，安装在所述开口处；至少一个悬臂，位于所述空腔内，所述悬臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之间的支点；柱塞，位于所述振膜和所述悬臂之间且用以将所述振膜的位移传递到所述悬臂的所述第一端；以及传感元件，连接到所述悬臂的所述第二端；其中，所述第一端与所述支点之间的距离小于所述第二端和支点之间的距离。本发明的微机电系统具有信噪比高、封装体积小、灵敏度高等优点。本发明的振膜的刚度比相关技术的振膜的数量级高，避免了在

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114302304 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111629634.X (51)Int.Cl.

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