原创力文档- 1
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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明公开了一种基于FBAR结构的压力传感器，涉及传感器技术领域，包括基底，基底顶部开设有凹槽，基底表面覆盖有绝缘层；绝缘层与基底顶部凹槽包围形成空气腔室；绝缘层上覆盖有支撑层，支撑层上设置有压电振荡堆；基底底部还开设有背部凹槽；还包括封装盖帽，封装盖帽键合安装于基底顶部；封装盖帽底部设置有容纳压电层和顶电极的凹槽；封装盖帽上还开设有上下贯穿的通孔，通孔内壁覆盖有金属种子层，通孔内还填充有通孔金属。本发明还公开了上述压力传感器的制备方法。本发明传感器可通过对基底的背部凹槽施加压力，引起基底正面压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114295256 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111580991.1
(22)申请日 2021.12.22
(71)申请人 苏州航凯微电子技术有限公司
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