一种基于硅基光波导的双层开关阵列.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种基于硅基光波导的双层开关阵列.pdf

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一种基于硅基光波导的双层开关阵列，属于集成光电子学技术领域。本发明器件集成在双层硅结构晶圆上，由电光开关阵列、层间耦合器以及光波导组成，电光开关阵列由第一级电光开关阵列(TS11～TS14)、第二级电光开关阵列(TS21～TS24)、第三级电光开关阵列(BS31～BS34)、第四级电光开关阵列(BTS41～BS44)和第五级电光开关阵列(BS51～BS54)组成，每级电光开关阵列内有4个电光开关单元；电光开关单元采用的是马赫‑曾德尔干涉仪结构，由两个双端口3‑dB分光器和两条相移臂组成，3‑dB

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114296181 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202210013185.4 (22)申请日 2022.01.07 (71)申请人吉林大学地址 13