一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法.pdf

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一种基于范德华金属电极的自驱动超快光电探测器构筑方法，涉及微电子异质结光电探测器件应用领域。采用机械剥离的方法剥离二维金属材料(Fe3GeTe2、Graphene)，叠层过渡族金属硫化物WSe2，形成Fe3GeTe2‑WSe2‑Graphene异质结。在此结构中不同范德华金属电极与沟道材料WSe2的接触长度存在差异，形成非对称的几何接触形状，获得不同的肖特基势垒高度，从而形成有效的结区内部电场，产生自驱动电流。此光电探测器具有结构简单、暗电流几乎为零、响应度高、响应速率快、灵敏度高等特点。Fe3

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114361289 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210023809.0 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人北京工业大学