芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质.pdf

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本发明涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质，本发明方法通过获取晶圆图像，对晶圆图像预处理后，通过预处理后的晶圆图像获得晶圆已取芯片的坐标以及未取芯片的坐标，通过坐标与MAP图比对，确定取下的芯片是否与MAP图的指示一致，因此，可以避免因晶圆在分选绷框导致行列间距不一致时，设备取出晶圆的芯片位置存在累计误差，导致误取的问题。该方法取芯片准确度高，当方法运行于计算终端时，可大幅提高处理速度，降低了人工确认、跟踪的过程，提高了劳动的效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114359240 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210017711.4 H01L 21/68 (2006.01) (22)申请日 2