一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备.pdf

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本发明涉及抛光垫安装技术领域，提供了一种用于抛光垫安装的辅助工具及抛光设备，该用于抛光垫安装的辅助工具，包括：本体，呈板状结构；限位结构，相对于所述本体垂直设置在所述本体的周边，所述限位结构与所述本体之间形成限位腔，适于限制抛光垫相对于所述本体发生移动。本发明提供的用于抛光垫安装的辅助工具，当需要更换抛光垫时，可以将抛光垫倒扣在限位腔中，随后撕开抛光垫粘胶面的衬纸，将抛光垫的本体安装至抛光盘上，在限位结构的作用下抛光垫无法移动，可以避免抛光盘与抛光垫位置上的误差，保证了抛光垫安装的准确性，使CM

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114310655 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210104572.9 (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人北京烁科精微电子装备有限公司