椭偏仪光谱浮动模型及建立方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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椭偏仪光谱浮动模型及建立方法.pdf

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本发明提供了一种椭偏仪光谱浮动模型及建立方法，所述方法包括：建立量测程式，对晶圆进行一次量测，并收集所述晶圆膜层的量测光谱数据；使用OLSA软件，对所述量测光谱数据进行拟合；通过编辑所述晶圆对应膜层的射散模型，增加一个谐振子，并将所述谐振子的初始值改为0；在所述量测程式输出项里面选择所述谐振子。本发明通过添加一个谐振子建立椭偏仪光谱浮动模型，与现有技术相比，采用该模型能够获得比较精确的量测结果，从而明确不同晶圆的同一膜层之间的差异、以及同一晶圆内不同位置处的同一膜层之间的差异，从而准确反应出膜层

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324184 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111658726.0 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人广州粤芯半导体技术有限公司