分割装置和分割方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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分割装置和分割方法.pdf

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本发明提供分割装置和分割方法。提出解决分割屑附着于被加工物的问题的新技术。分割装置(12)对将形成有分割起点的被加工物(11)粘贴于扩展片(31)并将扩展片安装于框架(33)而得的被加工物单元(10)的扩展片进行扩展而将被加工物沿着分割起点分割，分割装置具有：扩展单元(22)，其在被加工物朝下的状态下利用保持机构对被加工物单元的框架进行保持，将扩展片扩展而沿着分割起点将被加工物分割；和屑接收机构(60)，其具有：屑接收面(62a)，其与包含保持机构所保持的框架在内的被加工物单元的被加工物面对，接

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114346459 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111175034.0 H01L 21/304 (2006.01) (22)申请日