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本发明公开了一种离轴非球面扩束组件装调方法，S1：使光源发出的光经非球面镜组和标准镜反射回来仍与发出的光重合；S2：将光源替换成自准直仪，观察自准直仪上的叉丝成像，并同步调整第二非球面镜，使自准直仪返回的叉丝重合；S3：将自准直仪替换成干涉仪，干涉仪对光路进行干涉测量，根据干涉仪测量得到的泽尼克多项式参数来调整第二非球面镜的姿态，直到干涉仪测量得到的波前最小；S4：使调焦电机直线运动，此时分析干涉仪测量得到的泽尼克多项式，若多项式中仅有和离焦有关的参数发生变化，而其他参数不变，则表示调整到位。本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114326068 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210003717.6
(22)申请日 2022.01.05
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
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