一种薄膜整平装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种薄膜整平装置.pdf

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本发明公开了一种薄膜整平装置，用于整平设于平面上的薄膜，薄膜整平装置包括：固定支架，用于固定薄膜整平装置；移动支架，至少部分与固定支架相互连接并能够沿固定支架在第一位置和第二位置之间进行移动，移动支架包括第一基准点；整平机构，用于平整薄膜并至少部分与移动支架相互连接，整平机构包括第一整平单元和第二整平单元，第一整平单元和第二整平单元滑动连接在移动支架上，第一整平单元和第二整平单元分别设置在第一基准点的两侧。本发明能够解决薄膜与平面之间存在瑕疵的问题，保证膜材料与硬质平面能够完美贴合并提高处理效率

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114368141 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202210141346.8 (22)申请日 2022.02.16 (71)申请人杭州福斯特应用材料股份有限公司