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本发明涉及半导体装置的制造方法,其是使用粘合片的半导体装置的制造方法,所述粘合片依次具有含有热膨胀性粒子的粘合剂层(X1)、基材(Y)、及通过照射能量射线而固化从而发生粘合力降低的粘合剂层(X2),且该制造方法包括特定的工序1~5。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114402419 A
(43)申请公布日 2022.04.26
(21)申请号 202080063506.0 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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