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本发明公开了一种单相激励的微型三自由度超声电机,包括电机底座,电机底座内设有定子,定子的底面贴合有压电陶瓷片;所述的电机底座经垫片连接有支持机构;所述电机底座内设有位于定子和支持机构之间的球形转子,所述支持机构内壁为与球形转子外表相贴合弧面,且设有环形的圆弧滚道;所述圆弧滚道内设有多个滚珠,滚珠与球形转子接触。本发明具有结构简单,制造方便的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114389477 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202210076868.4
(22)申请日 2022.01.24
(71)申请人 温州大学
地址 32
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