半导体结构的检测方法、装置、半导体结构及存储器.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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半导体结构的检测方法、装置、半导体结构及存储器.pdf

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本发明实施例公开了一种半导体结构的检测方法、装置、半导体结构及存储器。所述半导体结构包括目标晶体管的第一测试结构和第二测试结构；所述方法包括：检测所述第一测试结构中第一阱区与第一栅极结构之间的第一电容；检测所述第二测试结构中第二阱区与第二栅极结构之间的第二电容；根据所述第一电容和所述第二电容，计算所述目标晶体管的总寄生电容。本发明实施例能够提高目标晶体管的寄生电容的检测准确性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388477 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210021979.5 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人长江存储科技有限责任公司