一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置.pdfVIP

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2023-05-07 发布于四川
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一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置.pdf

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本发明公开了一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置，包括传送带；其特征在于：还包括EUV辐射源产生单元、清洗单元、燃料注入单元、真空控制单元；所述EUV辐射源产生单元包括反光杯和激光器；在传送带的带体上设置有通光孔，在通光孔内设置有激光晶体，在激光晶体上部设置有涂层，在涂层上设置有多个微米孔，在微米孔内设置有可产生极紫外光的燃料；所述清洗单元包括碎片清洗腔和蒸汽喷头；所述燃料注入单元包括燃料注入腔和高压喷嘴；在燃料注入腔前部设置有第一机械臂和辅助光源，在燃料注入腔后部设置有第二机械臂。本发明有效实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114397799 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202210069647.4 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人张玥地址 1100