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本发明提供一种基板搬送用支承带,其具备支承膜、设置于该支承膜上的底涂层及设置于底涂层上的暂时固定材料层,支承膜为聚酰亚胺膜,暂时固定材料层含有热塑性树脂,底涂层含有选自由具有环氧基或脲基的硅烷偶联剂、环氧树脂、聚氨酯橡胶及具有5mgKOH/g以上的酸值的丙烯酸酯橡胶组成的群组中的至少一种。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114402049 A
(43)申请公布日 2022.04.26
(21)申请号 202080063685.8 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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