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本公开提供了一种可切换真空光学组件,其特征在于,包括:真空容纳腔,包括光学输入端和光学输出端,真空容纳腔用于容纳位于光路上的工作光学元件;切换装置,与真空容纳腔真空密封连接,包括:承载装置,用于承载多个光学元件;驱动装置,用于驱动承载装置运动,以切换真空容纳腔内的工作光学元件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114384103 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202111512202.0
(22)申请日 2021.12.08
(71)申请人 费勉仪器科技(上海)有限公司
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