一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备.pdf

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本发明实施例提供了一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：在执行工艺任务的过程中，当确定下一个调度动作为针对所述机械手的预设取放操作时，获取执行所述下一个调度动作的目标晶圆的目标传输路径；根据所述目标传输路径，获取所述目标晶圆的所述目标传输路径中的翻转信息；根据所述翻转信息，确定是否执行针对所述目标晶圆的翻转调度动作。根据本发明实施例，提供一种基于传输路径的晶圆翻转控制方法，将传输路径与晶圆翻转信息进行关联，通过灵活设置传输路径可以实现对处于同一个晶圆盒中的晶圆根据不同路径进行不

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388415 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111554471.3 (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人西安北方华创微电子装备有限公司