温控系统的控制方法及温控系统.pdfVIP

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2023-05-07 发布于四川
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温控系统的控制方法及温控系统.pdf

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本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法及温控系统，温控系统的控制方法包括：获取温控系统出口的实际温度值；根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的压缩机与高温级系统的压缩机的输出频率。本发明使用一套PID算法，同时控制高温级系统和低温级系统的压缩机的输出百分比，降低了控制的复杂程度，实现控制方案的简化，也减少了两套PID发生耦合产生出口温度周期性震荡的问题，规避了高低温级两个系统的互相干扰，较为简单的实现复叠制冷系统的精确温控。同时，高低温级系统的压缩机输出

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114396733 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202111673402.4 F25B 41/40 (2021.01)