一种微流体器件及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种微流体器件及其制作方法.pdf

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本发明提供一种微流体器件及其制作方法，包括器件晶圆和喷嘴晶圆，所述器件晶圆包括衬底、绝缘层和加热器，所述绝缘层设置在衬底的顶部，所述加热器设置在绝缘层的顶部，所述绝缘层的顶部处于加热器两侧的位置处设置有金属导线，所述绝缘层、金属导线和加热器的顶部设置有钝化层，所述喷嘴晶圆包括硅片，所述硅片的底部开设有空腔，所述空腔顶部内侧壁的中心位置处开设有喷嘴，所述喷嘴和空腔的位置与加热器相对应，该微流体器件的制作方法设计合理，进一步改善打印头的制造工艺，提升打印头的可靠性，降低打印头的制造成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114368222 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202210071704.2 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人武汉敏捷微电子有限公司