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本发明涉及一种可控电‑力耦合场加载装置及其测试方法,属于电子制造技术领域。所述电‑力耦合场加载装置包括测试柜和控制柜,所述测试柜包括拱架式机架,所述拱架式机架上设置有试样夹持台、可控电加载模块、垂直升降模块和磁吸附模块,其中:试样夹持台,用于装载测试板;可控电加载模块,与测试板相连,用于在控制柜的控制下改变测试板表面所受电场,造成局部电迁移;垂直升降模块,与试样夹持台相连,用于在控制柜的控制下搭载试样夹持台上下升降;磁吸附模块,设置在拱架式机架的顶部,用于在控制柜的控制下吸附和松开试样夹持台。本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114414992 A
(43)申请公布日 2022.04.29
(21)申请号 202210059798.1
(22)申请日 2022.01.19
(71)申请人 南京信息职业技术学院
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