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本发明涉及一种具有抗空蚀性能的高熵合金氮化物纳米复合涂层及制备方法。采用双阴极等离子溅射沉积工艺,在Ti‑6Al‑4V合金工件表面形成具有纳米复合结构的高熵合金氮化物涂层。双阴极等离子溅射沉积的可调工艺参数为靶材电压,工件电压,工件与靶材的间距(极间距),工作气压,氩气与氮气流量比,沉积时间。本发明的高熵合金氮化物涂层由氮化物相和高熵合金固溶体相构成,具有层状纳米复合结构。该涂层提高了工件表面力学性能和耐蚀性能。该涂层相比于工件材料具有更长的空蚀孕育期和更低的空蚀失重量,延长工件在空蚀腐蚀环境下
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114411094 A
(43)申请公布日 2022.04.29
(21)申请号 202111680533.5
(22)申请日 2021.12.30
(71)申请人 南京航空航天大学
地址
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