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本发明提供即使在低曝光量下也能够确保充分的拒墨性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有:(A)烯属不饱和化合物、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂、及(D)拒液剂,其中,所述(C)碱可溶性树脂含有具有下述通式(c1)所示的部分结构的碱可溶性树脂(C‑1),所述(D)拒液剂含有具有交联基团的含氟原子树脂。(式(c1)中,Rc11表示氢原子或甲基,Rc12表示任选具有取代基的2价烃基,n表示2或3的整数,式(c1)中的苯环任选进一步被任意的取代基取代,*分别表示键合臂。)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114450630 A
(43)申请公布日 2022.05.06
(21)申请号 202080067602.2 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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