一种载板回转移动装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种载板回转移动装置.pdf

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本发明公开了一种载板回转移动装置，涉及硅片生产设备技术领域，包括基座、移动框架、回转框架和载板，移动框架沿水平方向左右滑动设置在基座上，移动框架上设置有回转驱动齿轮、从动内齿轮及旋转电机，回转驱动齿轮与从动内齿轮啮合而能带动从动内齿轮沿水平方向旋转，回转框架设置在从动内齿轮上而能随从动内齿轮同步旋转，移动框架上设置有夹紧装置以对回转框架进行夹紧，限制回转框架旋转，回转框架上设置有导轨，载板沿水平方向前后滑动设置在导轨上。本发明的有益效果是载板既能沿水平方向左右、前后移动，也能够沿水平方向旋转18

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420614 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210181167.7 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人江西汉可泛半导体技术有限公司