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本发明构思提供一种用于传送基板的传送手部。该用于传送基板的传送手部包括：本体；和真空组件，其安装在本体中并对基板的底表面提供减压以在本体的上部支撑基板；其中真空组件包括：导电真空垫，其接触基板；和密封构件，该密封构件设置在真空垫和本体之间，该密封构件电连接至真空垫；其中密封构件接地。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114446857 A
(43)申请公布日 2022.05.06
(21)申请号 202111282981.X
(22)申请日 2021.11.01
(30)优先权数据
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