- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种抛光垫及化学机械抛光设备,涉及化学机械抛光技术领域,在延长抛光垫使用时间的情况下,降低更换抛光垫的频次,提高抛光效率。该抛光垫包括抛光层。抛光层包括至少两个高度不同的抛光部。本发明还提供一种应用于上述抛光垫的化学机械抛光设备。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114425743 A
(43)申请公布日 2022.05.03
(21)申请号 202011173862.6
(22)申请日 2020.10.28
(71)申请人 中国
您可能关注的文档
- 一种含有四氢呋喃的尾气处理方法、系统及应用.pdf
- 节流孔优化设计及工具面识别方法及装置.pdf
- 一种丝束干燥方法.pdf
- 对位二取代基苯吸附剂及其制备方法.pdf
- 一种模型驱动的波束构建方法及偏移系统.pdf
- 一种异常检测方法及装置、设备、存储介质.pdf
- 一种超深油气井支撑管及其制作方法.pdf
- 一种金属-有机框架材料分离膜及其制备方法与应用.pdf
- 一种用于甲烷催化燃烧的催化剂及其制备方法.pdf
- 不用控制饮食的糖尿病秘笈中药.pdf
- 2024-2030全球小型电去离子(EDI)系统行业调研及趋势分析报告.docx
- 2024年全球及中国市场操作应用程序(MOAs)行业头部企业市场占有率及排名调研报告.docx
- 2024年全球及中国肺炎AI医学影像软件行业头部企业市场占有率及排名调研报告.docx
- 2024-2030全球空中成像反射膜行业调研及趋势分析报告.docx
- 《3 三角函数的计算》课件_初中数学_九年级下册_北师大版.pptx
- 《第16课 冷战》课件_初中历史_世界历史第二册_统编版.pptx
- 重症监护室护士实习心得【6篇】.doc
- 护士培训汇报.pptx
- 二零二五年度农产品进出口代理服务合同.docx
- 2024年全球及中国AI蜂窝物联网模组行业头部企业市场占有率及排名调研报告.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)