一种晶体生长气泡消除装置及消除晶体生长气泡的方法.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种晶体生长气泡消除装置及消除晶体生长气泡的方法.pdf

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本申请公开了一种晶体生长气泡消除装置及消除晶体生长气泡的方法，属于晶体生长技术领域。一种晶体生长气泡消除装置，包括晶体生长槽、载晶架、电机、连接轴和旋转式扇叶；所述载晶架在晶体生长槽内；所述电机在晶体生长槽外；所述载晶架具有空心轴；所述连接轴穿过空心轴；所述连接轴和旋转式扇叶铰接；所述电机通过连接轴驱动旋转式扇叶旋转。本发明在不影响溶液稳定性的情况下达到消除载晶架表面气泡的目的，节省晶体生长前的准备时间，有效提高晶体生长的成功率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411235 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210151701.X (22)申请日 2022.02.18 (71)申请人闽都创新实验室地址