图像处理方法、装置及图像处理系统.pdfVIP

图像处理方法、装置及图像处理系统.pdf

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本发明公开了一种图像处理方法、装置及图像处理系统。其中,该方法包括:获取目标样品对应的干涉图像,其中,干涉图像由参考光束和由目标样品表面反射的测量光束干涉形成;对干涉图像进行三维形貌重构,得到目标样品的三维轮廓图像;对干涉图像进行数字图像处理,得到目标样品的二维特征信息;将二维特征信息与三维轮廓图像融合,得到包含目标样品的特征信息的三维形貌图像。通过本申请,解决了干涉仪在3D轮廓中无法体现二维(2D)图像中特征信息的问题。比如表面有多种材料而高度上没有明显区分的样品,在伪彩色3D形貌数据上无边界

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116067301 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202211641592.6 (22)申请日 2022.12.20 (71)申请人 长川科技 (苏州)有限公司 地址

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