一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法，该金刚石切割液以重量百分比计包括以下原料：金刚石粉体8‑20%、分散剂0.5‑2.5%、表面活性剂2‑6%、触变胶溶液10‑40%、基础油31.5‑79.5%；其中，所述触变胶溶液包括以下原料：植物油85‑97%、硬脂酸铝2‑10%、油品防老剂T5011‑5%。该金刚石切割液高效易清洗，生产方式简单，容易量产；此外还发现对金刚石切割液进行屈服值的检测方法可以缩短配方研发过程中悬浮稳定性优劣的判断时间。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116064189 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202211594625.6 G01N 11/14 (2006.01)