一种探针组件进行热屏蔽的方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种探针组件进行热屏蔽的方法.pdf

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本发明提出一种探针组件进行热屏蔽的方法。包括：获得探针支架形状及大小、选择耐低温的反射薄膜、选择耐低温的隔离薄膜、制作包含纯铝膜的多层薄膜、裁剪多层薄膜、缝制多层薄膜、包覆形成热辐射保护套、安装各层电极和引线接地步骤。本发明解决了采用传统方法难以消除探针支架与针尖‑样品接触区域之间的热辐射问题，实现了探针支架的多层隔热，满足样品测量时针尖‑样品接触区域的温度稳定性。而且，因绝热多层包覆结构的热辐射防护作用，探针支架材料选择包括不限于传统的陶瓷，增加了灵活性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114487748 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210059422.0 (22)申请日 2022.01.19 (71)申请人北京航空航天大学地址 10019