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本发明公开了一种可调节式的负压泵气源组件,其包括压电系统组件、阀体组件及输送阀体组件,所述压电系统组件与阀体组件之间设有定位密封结构,所述阀体组件与输送阀体组件之间设有定位密封结构一,所述阀体组件设有气室。本发明通过设置定位密封结构及定位密封结构一用于保证各组件之间的安装位置,便于对位安装,且提供多重密封结构,保证各个组件之间的密封性,且延长密封寿命,防止漏气的情况出现,提高气压稳定性,防止气体乱流或气压不稳定的现象的出现,保证气体控制效果及精度;通过设置气室用于协同压电系统组件实现气体的定量动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116066336 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310120550.6
(22)申请日 2023.02.15
(71)申请人 东莞市西喆电子有限公司
地址 5
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