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2023-05-09 发布于北京
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搬送异常预测系统具备推定部，该推定部具有完成学习模型，该完成学习模型对包含从设于基板搬送部的多个传感器分别在过去的基板搬送时所输出的传感器数据的数据集与该基板搬送时的搬送异常度的关系性进行了机器学习，该推定部将包含从所述多个传感器分别在新的基板搬送时所输出的传感器数据的数据集作为输入，推定该新的基板搬送时的搬送异常度并输出。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114503247 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080069453.3 (74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限