用于防止唇形密封件镀出的晶片屏蔽.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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用于防止唇形密封件镀出的晶片屏蔽.pdf

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通过最小化或消除流向唇形密封件的离子电流来最小化或消除在半导体衬底上电沉积金属期间金属在唇形密封件上的不希望的沉积(唇形密封件镀出)。例如，可以进行电沉积以避免在电镀过程中唇形密封件与半导体衬底上的阴极偏置导电材料接触。这可以通过屏蔽靠近唇形密封件的小选定区域以抑制靠近唇形密封件的金属的电沉积并避免金属与唇形密封件接触来实现。在一些实施方案中，通过在将金属电镀成贯穿抗蚀剂特征的过程中顺序地使用不同内径的唇形密封件来实现屏蔽，其中在第一电镀步骤期间使用具有较小直径的唇形密封件并将其用作在选定区域中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114502778 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080070051.5 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263