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本发明提供一种纵向泄露声表面波滤波器，涉及无源电学器件领域，包括多个电学级联的谐振器，用于激发纵向泄露声表面波模式；每个谐振器包括支撑衬底、压电薄膜结构和电极阵列；所述电极阵列均包括叉指电极阵列和反射栅阵列；所述谐振器中串联谐振器的波长小于并联谐振器的波长；串联谐振器第一压电薄膜结构的第一厚度小于并联谐振器第二压电薄膜结构的第二厚度，以使所述串联谐振器的归一化膜厚与所述并联谐振器的归一化膜厚之间的差值在预设范围内，以此抑制纵向泄露声表面波滤波器通带外杂散模式，降低通带内损耗，提升滤波器性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116073791 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310121666.1
(22)申请日 2023.02.15
(71)申请人 上海馨欧集成微电有限公司
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