光学无源微型振动传感器.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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光学无源微型振动传感器.pdf

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本发明公开了一种光学无源微型振动传感器，包括依次连接的振子组件和F‑P腔组件。解决了现有振动测量技术灵敏度低、抗干扰能力差、测量精度及制作工艺复杂等难题，可用于制作测量振动信号的高精度传感器；该测量装置原理利用弹簧振子感应器件振动并传递至F‑P腔的敏感面产生形变，基于F‑P光纤传感技术监测装置的振动信号，通过光纤解调仪将光信号转化为电信号，最后实现振动信号的检测，具有无源、高精度、高响应度、抗干扰能力强等良好性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485898 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111610102.1 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人西安理工大学地址 710048