一种卧式排气方法及卧式排气台.pdfVIP

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本申请涉及真空排气技术领域,尤其涉及一种卧式排气方法及卧式排气台,其中,卧式排气方法包括:S1,提供一个排气台,排气台具有真空室;S2,将行波管置于真空室内;S3,真空室封闭后,对行波管内部抽真空,对真空室抽真空,真空度达到第一设定值后,进行加热;S4,真空度达到第二设定值后,停止加热,并停止对真空室抽真空,然后进行冷却,真空室内的温度达到设定值后,打开真空室;S5,在行波管外表面安装磁钢,并对行波管通电,同时行波管内部抽真空。卧式排气台包括烘箱、内真空组件、外真空组件、支撑座。本申请提高了抽气

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114483531 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111679111.6 F26B 5/04 (2006.01)

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