一种卧式排气方法及卧式排气台.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种卧式排气方法及卧式排气台.pdf

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本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种卧式排气方法及卧式排气台，其中，卧式排气方法包括：S1，提供一个排气台，排气台具有真空室；S2，将行波管置于真空室内；S3，真空室封闭后，对行波管内部抽真空，对真空室抽真空，真空度达到第一设定值后，进行加热；S4，真空度达到第二设定值后，停止加热，并停止对真空室抽真空，然后进行冷却，真空室内的温度达到设定值后，打开真空室；S5，在行波管外表面安装磁钢，并对行波管通电，同时行波管内部抽真空。卧式排气台包括烘箱、内真空组件、外真空组件、支撑座。本申请提高了抽气

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114483531 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111679111.6 F26B 5/04 (2006.01)