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本发明提供了一种基于面积规划的动态焦斑阵列飞秒激光并行加工方法,步骤1:把所需加工的图案变为二值化图像;步骤2:将待加工图像分割成m个待加工子区域;步骤3:获得焦斑点阵图序列;步骤4:获得对应的计算全息图序列;步骤5:计算出计算全息图序列中每幅计算全息图在空间光调制器上的加载时间,并根据加载时间将计算全息图序列制作成视频流,并加载到空间光调制器上;步骤6:形成焦斑阵列的动态序列,在材料内部或表面形成所需加工的图案。本发明通过对待加工区域进行面积规划,将待加工区域划分为所需加工点扫描数量一致的多个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116060756 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310033881.6
(22)申请日 2023.01.10
(71)申请人 南昌大学
地址 330000
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