一种膜厚测量装置.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种膜厚测量装置.pdf

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本发明公开了一种膜厚测量装置，包括电涡流传感器、前置信号处理模块、数据采集模块和通讯模块；电涡流传感器连接前置信号处理模块，前置信号处理模块连接数据采集模块，数据采集模块连接通讯模块，通讯模块与上位机通信；电涡流传感器包括激励线圈和感应线圈；激励线圈和感应线圈均为扁平线圈，并且同轴设置，激励线圈与感应线圈的绕线方向相同；前置信号处理模块包括跟随电路、差分放大单元、整流滤波单元、比较放大单元、信号发生单元、相位解调单元和滤波放大单元。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114473844 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111666334.9 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人华海清科股份有限公司地址 300