一种用于基板减薄的清洗装置.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种用于基板减薄的清洗装置.pdf

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本发明公开了一种用于基板减薄的清洗装置，所述清洗装置包括清洗部、驱动部和承载部，所述承载部为板状结构，所述驱动部设置于所述承载部的侧面，所述清洗部与所述驱动部连接，所述驱动部驱动清洗部旋转以清洗吸盘工作台或基板；所述清洗部包括第一清洗单元和第二清洗单元，其中一个清洗单元的底部配置有刷体及修整体，以清洗吸盘工作台；其中另一个清洗单元的底部配置有刷体，以清洗基板。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114472276 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111666654.4 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人华海清科股份有限公