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本发明公开了一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、垫手结构、滑轨结构、定位导向结构、视觉检测结构；插针装置被配置成，在工作位置、所述滑轨结构带动所述垫手凸台移动到探针卡上面时，所述第一高度始终小于所述第二高度，所述垫手凸台至少部分覆盖在所述探针卡的正上方。本方案依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了MEMS直针在插针时能确保上盖板、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，其成本低、精度高、结构巧
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114487780 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210106619.5
(22)申请日 2022.01.28
(71)申请人 强一半导体（苏州）有限公司
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