一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法.pdf

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本发明公开了一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制备方法，合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30‑60％，铝10‑40％、镍10‑40％、钒10‑40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；制备方法包括金属粉末的制备、预压处理和热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材；其中，金属粉末的制备中，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；采用镁锌合金代替常规镁源和锌源，确保生产安全。本发明制备得到的镁锌铝镍钒高熵合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相，具有致密度高、合金化程度适当，无气孔和偏析

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114481053 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210090033.4 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人北京安泰六九新材料科技有限公司地址