原创力文档- 5
- 0
- 约1.34万字
- 约 11页
- 2023-05-10 发布于四川
- 举报
本发明属于光场调控与高速扫描技术领域，涉及一种基于复振幅光场调控技术的三维光束扫描方法与装置。本发明首次提出通过使用光场调控技术精确调控光场表达式中含有离焦因子和方向因子的光束，进而实现对光束的高速三维扫描。相较于现有的扫描技术，本发明可生成多个扫描光束对被测样品进行扫描，并且可以在不改变装置的情况下灵活地切换扫描光束的数量。同时，本发明选取数字微镜阵列进行光场调控，很好的保证了扫描的速度。此外，本发明所生成的扫描光束可以进行任意非连续的扫描，产生的扫描角度可以是非连续改变的，并且切换速度非常快
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518652 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011315092.4
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 绍兴钜光光电科技有限公司
地址 3
文档评论（0）