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一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构.pdf

    本发明提出了一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构。所述消除体声波谐振器杂散模态的结构包括衬底、底电极、压电薄膜和一边为圆弧的非平行四边形结构的顶电极；所述衬底上设置有底电极；所述底电极上设置有压电薄膜；所述压电薄膜上设置有所述顶电极。本发明提出的结构具有消除体声波谐振器在振动过程中产生的杂散模量的特点。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520639 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210171387.1 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 深圳新声半导体有限公司 地址 51

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