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- 2023-05-10 发布于北京
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本申请涉及一种晶圆检测探头和晶圆检测系统，所述晶圆检测探头包括载板、探针、导线与测试端口，探针包括柔性基体与测试电极，柔性基体凸出设置在所述载板的一侧，测试电极设置在柔性基体的远离载板的一侧，导线的两端分别与测试电极和测试端口连接。一种晶圆检测系统，包括至少一如前所述的晶圆检测探头。由于采用具有柔性基体的探针，可以有效减少或避免晶圆测试时的损伤。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114487789 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210346443.0
(22)申请日 2022.04.02
(71)申请人 浙江清华柔性电子技术研究院
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