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振动器件，能够抑制由于电容耦合而产生振荡特性的劣化。振动器件(1)包含：基座(2)，其包含半导体基板(20)和贯通半导体基板(20)的第1面(21)与第2面之间的贯通电极(40)；振动元件(5)，其配置于第1面(21)侧；以及外部连接端子(91)，其隔着绝缘层(80)设置于第2面(22)侧。在第2面(22)配置有：振荡电路(11)，其经由贯通电极(40)与振动元件(5)电连接，使振动元件(5)振荡而生成振荡信号；以及输出缓冲电路(12)，其输出基于振荡信号的时钟信号，从外部连接端子(91)输出来
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114553142 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202111405028.X
(22)申请日 2021.11.24
(30)优先权数据
2020-195823 202
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