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本发明涉及等离子制备技术领域，尤其为一种产生高密度等离子体的内置型等离子源及其等离子体辅助沉积方法，所述控制电源的输出端信号连接有运输设备，所述运输设备的出口固定连接有延长料道，所述长料道的末端固定连接有缓冲区，所述沉积设备的出口固定连接有反应腔室，所述反应腔室的内部固定连接有测温模块，所述反应腔室的输出端固定连接有相序保护单元，所述反应腔室的端固定连接有熔断保护模块。本发明通过测量模块对原料层进行甄别区分处理，运输设备将原料运输到沉积设备，再通过沉积设备将原料运送到反应腔室进行制备，从而达到了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114517293 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202111617339.2
(22)申请日 2021.12.28
(71)申请人 湖南哈工聚能科技有限公司
地址 4
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