一种LED固晶系统及其固晶方法.pdfVIP

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本发明公开了一种LED固晶系统及其固晶方法,所述系统包括晶片转移装置和固晶装置,其中:所述晶片转移装置包括由若干取晶条组成的呈列排布的取晶条阵列,各个取晶条逐个按列从蓝膜上取晶,依次完成全部取晶条取晶后,控制取晶条的左右等间距排列,确定固晶时相邻晶片列的距离;所述固晶装置包括由若干固晶条组成的呈行排布的固晶阵条列,每个固晶条上设置与取晶条数目相同的活动单元;各个固晶条通过活动单元逐行吸取所述取晶条上的晶片,依次完成全部固晶条逐行吸取晶片后,控制固晶条的前后等间距排列,确定固晶时相邻晶片行的距离。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114530539 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202011321616.0 H01L 25/075 (2006.01)

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