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能够跟随被检查体的热膨胀或热收缩来容易地确保各电触头的边缘裕度，提高测定精度，并且能够降低电路基板的翘曲以防止接触部的位置偏移。本发明的探针卡具备：电路形成基板，其具有与布线电路连接的多个基板电极；多个电触头，它们具有使被检查体的电极端子与所述基板电极之间电导通的通电部、和弹性地支承通电部的由合成树脂材料形成的基部；以及触头固定基板，其在与电路形成基板的各基板电极的位置对应的位置具有多个导通部，在一个表面上固定各电触头的基部而设置各电触头，使另一个表面与电路形成基板相对而设置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111751585 A
(43)申请公布日
2020.10.09
(21)申请号 20201
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