1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

支撑单元和用于处理基板的设备.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约2.4万字
  • 约 23页
  • 2023-05-10 发布于四川
  • 举报

支撑单元和用于处理基板的设备.pdf

    提供一种用于支撑基板的支撑单元，所述支撑单元包括：加热构件，所述加热构件配置成将热能传递至被支撑的基板；反射板，所述反射板设置在加热构件下方且配置成将加热构件产生的热能反射至基板；冷却板，所述冷却板设置在反射板下方且形成有冷却流动路径，冷却流体在所述冷却流动路径中流动；以及供气管线，所述供气管线配置成向反射板与冷却板之间的空间供应气体。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520168 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111376062.9 (22)申请日 2021.11.19 (30)优先权数据 10-2020-0155905

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >