单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水爆装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水爆装置及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种单晶或多晶硅料堆积棒料整体转移水爆装置及其使用方法，包括：用于容纳硅料棒料的水爆槽，所述水爆槽为矩形状结构，且水爆槽的底面以底面向上延伸的四周均为密封状结构；用于加热并转移硅料棒料的第一装置部；用于加热并转移硅料棒料的第二装置部，所述第二装置部位于水爆槽的另一侧向，第二装置部沿水爆槽另一侧向的长度方向延伸设置，且第二装置部具有第二输入端和第二输出端，所述第二装置部的第二输入端朝向水爆槽并对接水爆槽的开口，第二装置部的第二输出端远离水爆槽；第一装置部、水爆槽、第二装置部在同一条水平

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114505149 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210112590.1 (22)申请日 2022.01.29 (71)申请人合肥开比锐精机科技有限公司地址